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粤港澳真空科技论坛召开今年底季华实验室将全
时间:2020-12-20 02:47

  11月26日~28日,第四届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省线年学术年会在季华实验室举行,来自省内外150余家单位、350余名专家学者、工程技术人员与企业管理人员参加本次大会,共话真空科技创新发展。

  “佛山是全国工业体系最完备、工业技术最雄厚的城市之一。”佛山市科学技术局党组书记、副局长薛立伟也借此机会向与会嘉宾大力推介佛山。他表示,市科技局将和季华实验室共同努力,打造企业为主体、市场为导向、产学研深度融合的创新体系,为来佛山创新创业的科学家、科技工作者提供一流的服务。

  据悉,本次论坛以“前沿新材料产业与真空技术应用”为主题,共设一个主会场和两个分会场,进行了50多场学术报告交流,涉及真空装备与工艺、光电功能薄膜与器件、硬质涂层与表面工程、真空与半导体产业发展等专题。

  季华实验室副主任陈俊江向来宾介绍了季华实验室最新建设进展。他表示,半导体技术与装备是季华实验室主要研究方向之一。实验室参与了微纳电子国家实验室(张江)广州基地建设,承担国产装备及关键零部件项目研发工作。

  陈俊江透露,接下来,实验室将联合集成电路产业技术联盟和集成电路零部件产业联盟,加强实验室与企业、高校和科研机构的创新交流合作,推动科技资源与人才的共享,打造半导体协同创新平台;布局“十四五”,积极承担国家广东省重大任务;在佛山规划建设半导体装备零部件产业集群创新示范区。

  据介绍,经过两年多的探索和实践,季华实验室已引进了22个海内外高端团队,其中全职引进中科院院士1名,兼职院士12名;争取到国家和省重大项目10项,总经费达到5.1亿元;已申请发明专利308件;孵化企业8家。今年底,一期工程12.8万平方米建筑将全部投入使用,相关科研团队和设备将在近期陆续完成入驻;二期工程预计2022年6月交付使用。

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